集成电路纯水设备

集成电路电路板生产过程地处矿策答陆中，FPC/PCB湿流程绝大部分工艺都是相似的。各个工艺环节对纯水的要求也是大同小异。

• 中文名 集成电路纯水设备
• 系统特点 系统能耗低，有效节约能源
• 关键指标 电导率(电阻率)，总硅，pH值等
• 分    类 预处理加离子交换纯水系统等

概述

　　集成电路电路板生产过程中，FPC/PCB湿流程绝大部分工艺都是相似的。各个工艺环节对来自纯水的要求也是大同小异。我们在集成电路生产过程中常用到的电镀铜，锡，镍金;化学镀镍金;PT360百科H/黑孔;表面处理蚀刻等生产过程都需要用到不同要求的纯水。因为线路板生产过程中使用的药水不同，生产工艺流程的差异，对纯水的品质要求也不一样。最关键的指标是:电导率(电阻率)，总硅，pH值，颗粒度。线路板、电路板用纯水因为本身工艺流程的不同对纯水制造的工艺流程也不同。

　　按照绝大部分集成电路线路板厂的使用情况来看，大概分为以下线空银探她三种类型:预处理加离子交换纯水系统;反渗透加离子交换系统;高效反渗透加EDI超纯水设备。

特点原理

系统特点

　　*该系统由单片机(PLC)控制，一切动作均在预设程序下自动进行，具备全自动功能(自动制水、自动冲洗、源水缺水/实杨查水箱满水自动停机)。

　　*系统结构布置紧凑，占垂地面积小，有效节约空间。

　　*系统能耗低，有效节约能源。

　　*耗材寿命长，长探洲传艺制水成本低廉。

　　武*系统运行可靠，供水管路封闭，出水水质稳定。

EDI工作原理

　　供给原水进入EDI系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另一部分沿膜板外侧流动，以洗去透出膜外的离子，SHU脂截留水中的容存离子,被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，视么特负普回却带阳离子向负极方向运动,阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外,阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外,浓缩洋盟征怀心晶巴角了的离子从废水流路中排出,无离子水从树好牛孔脂/膜内流出。

工艺流程

　　线路板纯水的工艺大致分成以下几种:

采用离子交换方式

　　流程如下:自来水→电动阀→多来自介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点

采用两统候环升鱼乱雨贵视面级反渗透方式

　　流程如下:自来水→电动阀→乱建义且若盐经办处太多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→医工宪制听测讲收系观种混合器→二级反渗透主机(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

采用高效反渗透加EDI方式

　　流程如下(最复抗甲回鱼亲新工艺性价比最高):360百科自来水→电动阀→多介轻下防质配括象支见乎质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵找置业案燃套请→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

工作原理

标假坐视费缩兴击可洋失法准参考

　　显像管、液晶显示业止河盐器用纯水水质(经验数据)

　　集成电路用纯水水质

　　国家电子级纯水标准

　　国家电子级纯水标准

　　中国国家电子级超纯水规格 GB/T 11446.1-1997

	电阻率 　　25℃ 　　MΩ*cm	硅 　　≤μg/L	铜 　　≤μg/L	锌 　　≤μg/L	镍 　　≤μg/L	钠 　　≤μg/L	钾 　　≤μg/L	氯 　　≤μg抗轮气音员火/L	>1μm颗粒 　　≤哪知次临物重很为划个/ml	细菌 　　≤个/ml	硝酸根 　　≤g/L	磷酸根 　　≤μg/L	硫酸根 　　≤μg/L	TOC 　　≤μg/L
EW-I	位　≥18*	2	官岁过械安0.2	0.2	0.1	0.5	0.5	1	晶府已口犯0.1	0.01	1	威被是乐常写1	1	20
EW-II	≥15 **	10	0	0	1	2	社路历脚容尽味　　2	1	5	0.1	1	1	1	100

　　注*(95%时间不低于17)，**(95散庆称侵% 时间不低于13)。

　　中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准

指标\级别	矿燃民　EW-Ⅰ	E苦免刻术W-Ⅱ	EW-Ⅲ	EW-Ⅳ
电阻率 MΩ，cm(25℃)	18以上，(95%时间)不低于17	15，(95%时间)不低于13	12.0	0.5
全硅，最大值,μg/L	2	10	50	1000
>1μm微粒数，最大值，个/mL	0.1	5	10	500
细菌个数，最大值，个/mL	0.01	0.1	10	100
铜，最大值，μg/L	0.2	1	2	500
锌，最大值，μg/L	0.2	1	5	500
镍，最大值，μg/L	0.1	1	2	500
钠，最大值，μg/L	0.5	2	5	1000
钾，最大值，μg/L	0.5	2	5	500
氯，最大值，μg/L	1	1	10	1000
硝酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
磷酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
硫酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
总有机酸，最大值，μg/L	20	100	200	1000