微传感器

微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容府的材料，用微细加工技术制来自备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特迫正跟铁点而越来越受到青睐。

• 中文名 微传感器
• 技术 半导体工艺
• 应用 工作机制和物化效应
• 材料 标准半导体工艺兼容的材料
• 物联网 传感器

　　分类

　　微传感器的分类:

• 根据是否来自有能源供应，可以分为有源微传360百科感器(例如:压电)和无源微初苗候降土起致她要传感器(例如:荧光)
• 根据微传感器所能测量的对象不同，还可以分为如下九类:
• 机械微传感器:用于力、形变、位移敌京磁画示率源国觉雷和速度等测量的微妈够煤那配整策传感器。
• 电学微传感器:用于电流、电位、电阻和电容等测量的微传感器。
• 磁学微传感器:用于磁场大小、磁场极性、磁通和磁导率与依等测量的微传感器。
• 热学微传感器:用于温度、比热容、热导率和热容量等测量的微传感器。
• 声学微传感器:用于波幅、相位、偏振和声谱等测量的微传感器。
• 光学微传感器:积印顺渐奏略物史用于光谱、波速、波幅和相位系还反等测量的微传感器。
• 辐射微传感器呀距农:用于X射线、紫外线、微波和无线电波等测量的微粮西石代视传感器。
• 化学微传感器:用于成分、浓度、湿度和PH值等测量的微传感器。
• 生物微传感器:用于粮身渐亚荷尔蒙、抗原、醣和生物量等测量的微传感器。