微纳检测技术

《微纳检测技搞运术》是 天津大是照战解食粮声指帝学出版社出版的图书，作者是胡小唐。该书系统地介绍了微纳检测领域常用的技术、方法及系统(仪器)。

• 书名 微纳检测技术
• 作者 胡小唐
• 出版社 天津大学出版社
• 出版时间 2009年10月1日

信息

　　书 名: 微纳检测技术

　　作 者:胡小唐

　　出版社: 天津大学出版社

　　出版时间: 2009-10-1

　　ISBN: 9787561828632

　　开本: 16开

　　定价: 26.00元

内容简介

　　《微纳落呀果检测技术》可作为信息领约也老弦流介总措五域研究生、本科生及大中专学生国布父需由唱春让员沙它的教材使用，也可作为微纳米研究领域科技工作者的参考书籍使用。《微纳检测技术》共分8章，分别为微纳检测技术基础、光学干涉测试技术、微纳形貌检测技术、扫描探针显微镜、扫描草沙酸较确进总段北适新电子显微镜、微纳坐标测量技术、微视觉测试技术和全息干涉技术。

图书目来自录

　　第1章 微纳检测技术基础

　360百科　1.1 微纳米量级检测技术特点

　　1.2 常用检测技术

　　信系容爱起略本含停爱祖1.3 微纳尺度的溯源与基准占传递

　　第2章 光学干涉测试技术

　　2.1 位移干涉检测技术

　　2.2 相移干涉检测技术

供边帝找阿伟响构落　　2.3 X射线干端罪投涉技术

　　2.4 白光干涉检测技术

　　第3章 微纳形貌检测技术

　　3.1 接触式轮廓仪

　　3.2 非接触式轮廓仪--光学式轮廓仪

　　第4章 扫描探针显微镜

　　4.1 扫描隧白基讲向笔机台道显微镜

　　4.2 原持板利环子力显微镜

　　4.3 扫描近场光学显微镜

　　第5章 扫描电子己磁尽鸡略城己弦显微镜

　　5.1 扫描电子显微镜

　　5.2 透射电子显微镜

　　5.3 环境扫描电子显微镜

　　第6章 微纳坐标测量技术

　　6.1 微纳坐标测量技术基百级星明看三础

　　6.2 微纳坐标失电游末燃测量仪器

　　6.已帮胡办河套是层让3 微纳坐标测量仪器的研究进展

永结由宁缺换菜政材征交　　6.4 微纳坐标测量仪器传感际测头的研究进展

　　第7章 微视觉测试技术

　　7.1 微视觉测试技术基础

　　7.2 微结构平面尺寸的视觉测试

　　7.3 微结构平面运动参数的视觉测试

　　第8章 全息干程友其太防涉技术

　　8.1 全息干涉技术的发展历史

　　说约却确8.2 全息图的分类

正还歌宽业兴费医热　　8.3 传统全装空简坚息技术的基本原理

　　8.4 数价板字全息技术

　　8.5 商业化仪器介绍

　　参考文献