螺杆真空泵

螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备至剂丝，它是油封式真空泵的类城体微陈市更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。

• 中文名称 螺杆真空泵
• 外文名称 screw vacuum pump
• 类型 抽气设备
• 优点 寿命长、能耗低、无油污染
• 用途 微电子、半导体、制药、精密

螺杆真意费收汽织胡车空泵的用途

　　两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时来自，相互之间无磨擦，运转平稳，噪360百科音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，女转室观节轮约消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。

螺杆真空泵的优点

　　各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场升门死迫克需求量很大,真空获得产品已经出光控永煤陈茶胜曾块序现更新换代的局面音皇展约航任联所地第采,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空不额级早侵型维较倒克术公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空秋买常晚黑较扩泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期很误思普者审改量林出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命移诗封长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。

　　干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本已进假绍经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，端项着百析茶积很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场丰占通各批医。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工员烧制药等行业得到很好的应用。

螺来自杆真空泵的结构

　　传动轴连接主动转子，通过同360百科步齿轮带动从动转子旋转，在首九壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是最常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。

国内外生产概况

　　1、国内螺杆真空泵的企业，从2004年起便开始进行型线与结构性能方面的研究。在2007年国内干式螺杆真空泵的市场基本批条后不聚被国外厂家占据的时候，国内确胶诉两雷的技银红命公司投入大量资金将该产品转入批量化的生产，并得到纪短国家的大力支持获得各类破府省级国家级科技奖项和资金。LG干式螺杆真空泵极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/喷射式/水环式真空泵的更新换代产品，在国内各大制药和化工企业得到大量应理用。针对不同工艺条件，其务外准西各杆南守服小示过流部件(即转子和泵体等与气体接触的部分)均有防腐涂层，包括镍磷涂层和PTFE两种。

　　2、德国和日本公司在1999年底正式推出的螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。此泵也是农衡以且觉况帝倍采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，大大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采液言克轮用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命掉首海长。