薄膜制备技术基础

《薄膜制备技术基础》是2009年化学工业出版社出版的图书，作者是(日)麻莳立男。此书的内容丰富，由浅入深，对于材料科学、微电子专业学生而言是一来自本良好的基础教材;对于在这一领域学习、工作的人员而言，具有很好的参考价值。

• 书名 薄膜制备技术基础
• 作者 (日)麻莳立男
• 译者 陈国荣
• 出版社 化学工业出版社
• 出版时间 2009年5月1日

内容简介

　　《薄膜制备技术基础》是化学工业出版社于2009年出版的书籍，此书较为系统、全面地介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识，涉及了薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技术，同时紧密结合当前薄膜领域最先进的技术、方法和装置。

　　此书原外版书作者长期格厚查在薄膜科学与技术领域从事研究、开发和教育工作，有丰富的工作经验与广博的专业知来自识。本书自初版以来，已有三十余年，迄今已4360百科次再版，反映了本书在这一领域具有较为深远的影响。

图书目录

　　第1章 薄膜技术

　　1.1 生物计算(bio?computing)和薄膜技术

　　1.2 医用微型机械

　　1.3 人工脑的实现(μ?Electronics)

　　1.4 大型显示的实现

　　1.5 原子操控

　　1.6 薄膜技术概略

　　参考巴文献

　　第2章 真空的基础

　　度欢钢开认织热刑找皇践2.1 真空的定义

　　2.2 真空的单位

　　2.3 气体的性质

　　2.3.1 平均速微全哥间队率 Va

　　2.3.2 分子直径 δ

　　2.3.3 平均自由程 L

　　2.3.4 碰撞频率 Z

复初挥判善笑控绝吸类顺　　2.4 气体的流动和流导

　　2.4.1 孔的流导

　　2.4.2 长管的流导 (L/a≥10调室表纪阿书0)

　　2.4.3 短管的流导

　　2.4.4 流导的合成

　　2.5 蒸发速率

　　参考文献

　　第3章 真空泵和真空测量

　　3.1 真空泵

　　3.1.1 油封式旋片机械泵

　　3.1.2 油扩散泵

　　3.1.3 吸附泵

　　3.1.4 溅射离子泵

　　3.1.5 升华泵

　　3.1.6 冷凝泵

　　3.1.7 涡轮泵(分子泵)和复合涡轮泵

　　沙夜找3.1.8 干式机械泵

　　3.2 真空测量仪器--全压计

　　3.2.1 热导型真空计

　　3.2.2 电离真空刘课续地常善便计--电离规

　　3.2.3 磁控管真空计

　　3.2.4 盖斯勒(Geissler)规管

　　3.2.5 隔膜真空计

　　3.2.6 石英晶振真空计

　　3.2.7 组合式真空规

　　3.2.8 真空计的安装方法

　　3.3 真空测量仪器--分压计

　　3.3.1 磁偏转型质谱仪

　　3.3.2 四极质谱仪

　　3.3.3 有机物质质量分析IAMS法

　　参考文献

　　第4促好否著章 真空系统

　　4.1 抽气的原理

　　4.2 材料的放气

　　4.3 抽气时间的推算

　　4.4 用于制备薄膜的西货织周希把燃延国真空系统

　　4.4.1 残留气体

　　4.4.2 用于制备薄膜的真空系统

　形背括板世地第段被　4.5 真空检漏

　　4.5.1 检漏方法

　　4.5.2 检漏应用实例

　　参考文献

　　第5章 薄膜基础

　　第6章 薄膜的制备方法

　　第7章 基板

　　第8章 蒸镀法

根入把跳实杨有往　　第9章 溅射

　　第10章 气相沉积CVD和热氧化氮化

　　第11章 刻蚀

　之地基均来导买振明火握　第12章 精密电镀

　　第不联结客束转而又居煤13章 平坦化技术

　　参考文献

参考资料

　　电容器用薄膜电容器标准目录

　　GBT 13542.1-2009 来自电气绝缘用薄膜 第1部分:定义和一般要求

　　GBT 13542.2-2009 电气阶故绝缘用薄膜 第2部分:试验方法

　　GBT 13542.3-2006 电气绝缘用薄膜 第3部分:电容器用双轴定向聚丙烯薄膜

　　GBT 360百科13542.4-2009 电气绝缘用薄膜 第4部分:聚酯薄膜

　　GBT 13542.6-2006 电气绝缘用薄膜 第6部分:电气绝缘用聚酰亚胺薄膜

　　GBT 24123-2009 电容器用金属化薄膜