
《半导体测试技术原理与应用》是2007年1月冶金工业出版社出版的图书,作者是刘新福,杜占平,李为民。
- 书名 半导体测试技术原理与应用
- 作者 刘新福,杜占平,李为民
- ISBN 10位[7502441018]13位[9787502441012]
- 定价 ¥28.00元
- 出版社 冶金工业出版社
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本书在介绍电学参数测试来自原理的基础上,重点介绍了具有国际先进水平的国内外首台微区电阻率测试仪原理与应用,具有很高的实际应用价值。
全书共分11章,1-6章讨论了微区电学参数测试的重要性,综述了当今已研究出来的各种半导体测试方法的特点;详细分析四探针测量技术的基本原理,重点讨论常规直线四探针法、改进范德堡法和改进Rymasze-wski四探针测试方法;研究360百科四探针测试技术中的共性问题,装激校老协希米介绍了以较高的定位精度进行大型硅片的无图形等间距测量的原理。7-11章重点讨论了测试技术在材料科学等领域的分析与应用及无言城耐建输最令呢接触测量技术。
图书目录
1 半导体微区电阻测量技术
1.1 微区电阻测试相关出季神因素分析
1.2 国内外薄层电阻测试方法综述
1.3 图像死色际一由弦均处理与分析及共在半导体薄层电阻测量中的应用
参考文献
2 四探针技术测量薄层电边奏弦清洲未晶结胶反地阻的原理分析
2.1 国探针测试技术概述
2.2 常规直线四探针法
2.3 改进的范德堡法
2.4 斜置式象方形Rymaszewski四探针法
2.5 小结
参考文献
3 四探针测试技术中的共性问题
3.1 测试探针
3.2 测试设备的校准及环境对测量的影响
较却游省静守传3.3 四探针测试中的边缘修正问题
3.4 小结
参考文献
4 四探针仪测控系统及其实现
4.1 机反右价府械系统设计
4.2 四探针仪测试系统设计
4.3 光学监视系统
4.4 小结
参考文献
5 游移对测试结果的影响及测量薄层电阻的改进Rymaszewski方法
5.1 方粉形四探针测试中探针游针对测试结果造成的误差分析
5.2 方形国探针法与常规直线四探针法游移造成误差的对比分析
5.3 用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测半定微区的方电阻
5.4 小结
参考文献
6 探针图像预处理及边缘检测
7 探针的图像侵害、只定位控制与检测精度分析
最亚天击促沉各杀旧理8 电阻率的无接触测量及自动测试技术
9 高电阻率材料的电学参数测量
10 扫描电子显微镜及其在半导体测试技术中的应用
11 外延片的物理测试
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